SAMD系列多弧磁场电源

SAMD系列多弧磁场电源

规格参数

SAMD系列多弧磁场电源技术规格

SAMD系列多弧磁场电源工作于高频变换模式,单极脉冲方式输出,电压、频率、占空比独立调整。SAMD系列电源主要用于多弧离子镀膜弧靶前的动态磁场扫描,改善等离子体放电角度,加快弧斑运动速度,减少液滴形成。

电源功率范围

6-60kW

输入电源

AC380V±10%三相四线制 50-60HZ

输出方式

脉冲

脉冲宽度

10-90%

脉冲频率

1-50HZ

输出电压

空载60V

输出电流稳定率

0.5%

冷却方式

6-12kW风冷20-60kW水冷

使用环境

环境温度 0-40℃
环境湿度 相对湿度≤85%
空气清洁 无粉尘 无腐蚀性易燃性气体 通风良好

冷却水

清洁 不含矿物质及其他可溶性物质
水温 20-40℃
压力 0.15±0.05MPa

通讯方式

RS485/RS232

说明:电源的输出特性可根据使用需要作相应调整

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