SSDH中频磁控溅射电源

SSDH中频磁控溅射电源

规格参数

SSDH系列中频磁控溅射电源技术规格

 SSDH系列中频磁控溅射电源工作于二级高频变换模式,交流正弦输出。电源输出频率可制定为100、125、150、175、200kHz,或200、250、350、400 kHz,用于化合物膜的沉积及相关工艺开发。

电源功率范围

2-20kW

输入电源

AC380V±10%三相四线制 50-60HZ

输出方式

准正弦波

输出频率

100、125、150、175、200kHZ,或200、250、350、400 kHz

输出电压

空载1200V[有效值]

输出特性

恒流/恒功率/恒压

灭弧时间

≤1μs

输出稳定率

0.25%

冷却方式

风冷

使用环境

环境温度 0-40℃
环境湿度 相对湿度≤85%
空气清洁 无粉尘 无腐蚀性易燃性气体 通风良好

通讯方式

模拟/RS485/RS232

说明:电源的输出特性可根据使用需要作相应调整

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