SSPH系列高功率脉冲磁控溅射电源

SSPH系列高功率脉冲磁控溅射电源

规格参数

SSPH系列高功率脉冲磁控溅射电源技术规格

SSPH系列高功率脉冲磁控溅射(HPPMS)电源工作于二级高频变换模式,直流脉冲输出。电源由供电及脉冲调制两部分构成,单个脉冲可输出2-8兆瓦的瞬时功率。高功率密度的阴极材料将产生高的金属离化率 ,并且不含靶材颗粒。电源适用于金属工具膜层及装饰膜层制备

 

电源功率范围

12-25kW

输入电源

AC380V±10%三相四线制 50-60HZ

输出方式

直流窄脉冲

输出电压

0-2000V

输出电流

1200A 2400A 3600A 4800A

灭弧时间

≤3μs

脉冲频率

最高500HZ

负载持续率

100%

冷却方式

风冷

使用环境

环境温度 0-40℃
环境湿度 相对湿度≤85%
空气清洁 无粉尘 无腐蚀性易燃性气体 通风良好

通讯方式

RS485/RS232

说明:电源的输出功率可根据使用需要作相应调整

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