SH系列空心阴极电源

SH系列空心阴极电源

规格参数

SH系列空心阴极电源技术规格

 本电源系统用于以空心热阴极等离子电子束蒸发源(HCD枪)实现金属材料蒸发的电源设备,采用高频开关技术,系统集成度高,工作效率高,性能稳定。独特的数字面板编程控制方式使得工艺控制更加精确。

系统组成

引束电源

用于空心阴极产生等离子体电子束的诱导电源

主束电源

用于维持空心阴极产生等离子体电子束的工作电源,高密度等离子体电子束轰击靶材使其蒸发

工作要求

输入电源

AC380V±10%三相四线制 50-60Hz

使用环境

环境温度 0-40℃
环境湿度 相对湿度≤85%
空气清洁 无粉尘 无腐蚀性易燃性气体 通风良好

冷却水要求

清洁 不含矿物质及其他可溶性物质
水温 20-40℃
压力 0.15±0.05MPa

主束电源性能参数

电源功率范围

10-30kW

输出电压

空载150V

输出电流稳定率

1%

冷却方式

10kW风冷 15- 30kW水冷

通讯方式

模拟/RS485/RS232

引束电源性能参数

输出功率等级

6-30kW

输出电压

空载800V

输出电流稳定率

1%

冷却方式

风冷

说明:电源的输出特性可根据使用需要作相应调整

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